尊龙凯时人生就是搏

项目

基本参数

设备名称

Spin Coater、涂布面、匀胶机
、甩胶机、旋涂仪

设备用途

匀胶

操作模式

半自动或手动模式

设备构成

由洁净高纯材料板
、海外部件
、净化过滤组件
、泵浦阀件、气路压力表件
、废液装置等构成
；

设备参数

◎ 主体采用优质PP\PVDF\PVC\SUS等洁净材料及配件实行施工工艺
；

◎ 根据用户环境不同设计合理的(包括台式、嵌入式、手套箱式)方案；

◎ 适合于4-8英寸晶圆工艺自动点胶系统或手动移液枪滴液
，人机界面控制；

◎ 工业伺服电机系统，满足工业化生产要求可选去边、背洗

、温控循环系统底部排液
；

◎ 转速可调范围:20-10000rpm；

◎ 加减速度可调范围:0-50000rpm/s转速精度:±1rpm
，更高精度可选最多可升级4路自动点胶功能可存贮100组100步涂胶程序
；

◎ 外型尺寸:1500mm(宽)*1050mm(深)*2100mm(H)；

◎ 系统设计包括洁净新风系统
、废液收集系统以及黄光环境等各项指标；

◎ 系统设计去离子水、增压泵浦(可选件)、CDA或氮气压力端子或管路装置；

◎ 应用范围：半导体化合物
、集成电路和IC、光伏
、LED、TFT-LCD
、化工、光子／光量子、石化、科研院所或其他工业用户
；

项目

基本参数

设备名称

显影机、Develop

设备用途

匀胶、曝光后显影用途

操作模式

半自动或手动模式

设备构成

由洁净高纯材料板、海外部件、净化过滤组件
、泵浦阀件、气路压力表件、废液装置等构成；

设备参数

◎ 主体采用优质PP\PVDF\PVC\SUS等洁净材料及配件实行施工工艺
；

◎ 根据用户环境不同设计合理的(包括台式、嵌入式、手套箱式)方案；

◎ 适合于4-8英寸晶圆显影工艺，人机界面控制；

◎ 摆臂式自动多路显影喷液，去离子水，吹气功能·可根据不同工艺更换多种显影喷头；

◎ 转速可调范围:20-10000rpm
；

◎ 加减速度可调范围:0-50000rpm/s.转速精度:±1rpm，可存贮100组100步涂胶程序；

◎ 外型尺寸:1500mm(宽)*1050mm(深)*2100mm(H)
；

◎ 系统设计包括洁净新风系统、废液收集系统以及黄光环境等各项指标；

◎ 系统设计去离子水、增压泵浦(可选件)、CDA或氮气压力端子或管路装置；

◎ 工业伺服电机系统
，性能稳定，满足工业化生产要求·可选显影液控温循环系统，增强工业稳定性·底部排废
，顶部抽风功能；

◎ 应用范围：半导体化合物
、集成电路和IC、光伏、LED
、TFT-LCD
、化工
、光子／光量子、石化、科研院所或其他工业用户；